| .主要適用于實(shí)驗(yàn)、科研、醫(yī)學(xué)及小規(guī)模的生產(chǎn)領(lǐng)域。
2.特點(diǎn)：成本低，整機(jī)機(jī)械、電氣結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用，易維護(hù)。
3.控制方式：手動(dòng)或自動(dòng)控制模式，利用各簡(jiǎn)單元器件的巧妙
組合成自動(dòng)控制體系，各參數(shù)調(diào)整好后，一鍵完成整個(gè)清洗工藝。
4.電源功率、清洗時(shí)間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。
5.射頻電源手動(dòng)匹配（自主研發(fā)的全固態(tài)晶體管輸出型）
6.浮子精密氣體流量計(jì)、針閥等控制工藝氣體流量。
7.清洗完成有提示音
8.反射功率過(guò)大報(bào)警
9.工藝氣體耗盡報(bào)警
10.泵熱過(guò)載報(bào)警
11.反應(yīng)倉(cāng)泄漏報(bào)警
12.電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。
13.反應(yīng)倉(cāng)為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調(diào)。
14.真空泵采用雙腔式旋片泵，極限真空度可達(dá)2Pa以下，一般采用外置。
15.真空泵可選配液位低報(bào)警裝置
小型等離子清洗機(jī)主要技術(shù)數(shù)據(jù)及規(guī)格：
標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
技術(shù)配置
QT-12-PSP-
QT-24-PSP
QT-36-PSP
外形尺寸
W700mm×H900mm×D600mm
W700mm×H900mm×D600mm
W700mm×H900mm×D650mm
反應(yīng)倉(cāng)
W250mm×H200mm×D300mm
W300mm×H250mm×D320mm
W340mm×H305mm×D350mm
真空腔體材質(zhì)
不銹鋼加鋁內(nèi)襯
電極板有效面積
140mm×200mm×4
240mm×220mm×5
280mm×260mm×6
電源功率
0～300W
0～300W
0～600W
電源頻率
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz/40kHz
潔凈真空度
15Pa
15 Pa
1 0Pa
控制系統(tǒng)
半自動(dòng)控制/全自動(dòng)控制，繼電器加定時(shí)器控制體系
單次處理時(shí)間
8-15分鐘
氣體控制
2路精密氣體流量計(jì)+針閥+高拋光不銹鋼管路
流量精度
+2sccm
工作壓強(qiáng)
10-90Pa
真空泵系統(tǒng)
德國(guó)/國(guó)產(chǎn)
德國(guó)/國(guó)產(chǎn)
德國(guó)/日本/國(guó)產(chǎn)
參數(shù)控制
處理時(shí)間、射頻功率、氣體流量可調(diào)
所需環(huán)境配置
供電環(huán)境
AC220V/50Hz8A + 獨(dú)立PE線
供氣管路
0.2至0.6MPa，管徑φ6
環(huán)境
最高35℃良好換氣通風(fēng)
濕度
30%～85% |
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