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星弧涂層科技有限公司一直站在國際PVD技術(shù)的前沿,擁有10多年的真空設(shè)備生產(chǎn)、服務(wù)和研發(fā)經(jīng)驗,一直致力于PVD技術(shù)的工業(yè)化應(yīng)用,并取得了卓越的成果。公司積累了豐富的PVD設(shè)備設(shè)計和制造經(jīng)驗,并可根據(jù)客戶的具體要求設(shè)計制造高品質(zhì)的真空鍍膜設(shè)備。
Jupiter系列PVD涂層設(shè)備:1)真空室有效尺寸- ø;1500x1100mm 2)抽氣系統(tǒng)-機械泵+羅茨泵+擴散泵 3)靶-5個:磁控濺射-2個;磁控陰極弧-2個;離子源-1個 4)工件轉(zhuǎn)架-10~12個帶自轉(zhuǎn)行星轉(zhuǎn)架,每個工件均可自轉(zhuǎn) 5)控制系統(tǒng)- PLC用于工藝過程控制;PC用于控制界面 6)涂層- TiN,TiAlN, CrN, TiAlCrN等 7)主要應(yīng)用領(lǐng)域-一般切削刀具,成型及沖壓模具,耐磨零件。
Diamant系列PVD/IAPVD涂層設(shè)備:1)真空室有效尺寸- ø;1300x1100mm 2)抽氣系統(tǒng)-機械泵+羅茨泵+擴散泵 3)靶-6個:磁控濺射-2個;IAPVD源-4個 4)工件轉(zhuǎn)架-12個帶自轉(zhuǎn)行星轉(zhuǎn)架,每個工件均可自轉(zhuǎn) 5)控制系統(tǒng)- PLC用于工藝過程控制;PC用于控制界面 6)涂層- TiN,TiAlN,DLC等 7)主要應(yīng)用領(lǐng)域-耐磨零件和自潤滑零件,高檔工模具,特殊切削刀具。
Seeyu系列PVD涂層設(shè)備:1)真空室有效尺寸- ø;1200x900mm 2)抽氣系統(tǒng)-機械泵+羅茨泵+分子泵 3)靶-6個:磁控濺射-1個;過濾陰極弧-3個;離子源-2個 4)工件轉(zhuǎn)架-12個帶自轉(zhuǎn)行星轉(zhuǎn)架,每個工件均可自轉(zhuǎn) 5)控制系統(tǒng)- PLC用于工藝過程控制;PC用于控制界面 6)涂層- ta-C, DLC, DLC-Al等 7)主要應(yīng)用領(lǐng)域-高檔工模具,耐磨零件和自潤滑零件,特殊切削刀具.
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